特許
J-GLOBAL ID：200903069822691752
粘着性を有する微細構造を製造する方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-171470
公開番号（公開出願番号）：特開2008-290438
出願日： 2007年06月29日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：
【課題】モールドの繰り返し使用と量産及び低コストが可能な粘着性を有する微細構造を製造する方法を提供する。【解決手段】底面にナノメートルオーダーの凹槽22を有するモールド21及び基板11を用意する工程と、基板11の上に液体状のインプリント層31を被せる工程と、基板11にモールド21を押印する工程であって、インプリント層31は、モールド21と基板11との間に基材32を形成し、各凹槽22の所定の深さまで進入して基材32の上にナノ突起34を形成し、各凹槽22内の空気が圧縮される工程と、インプリント層31を固化させる工程と、モールド21を基板11から上向きに離型させる工程であって、各凹槽22内の圧縮された空気の反発力によって、各凹槽22内に形成されたナノ突起を各凹槽22からスムーズに出すことが可能で、基材32はナノ突起34と共に粘着性を有する微細構造30を形成する工程と、を含む。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
モールドの底面は、ナノメートルオーダーの複数の凹槽を有し、前記凹槽は、所定の深さを有するモールドと、基板と、を提供する工程a)と、
前記基板の上に液体のインプリント層を被せる工程b)と、
前記基板に前記モールドを押印する工程であって、前記インプリント層は、前記モールドと前記基板との間に基材を形成し、且つ前記凹槽内の所定の深さまで進入して前記基材上にナノ突起を形成し、前記凹槽内にもとから存在する空気は圧縮される工程c)と、
前記インプリント層を液体から固体へと固化させる工程d)と、
前記モールドを前記基板から上向きに離型させる工程であって、各前記凹槽内の圧縮された空気によって生じる反発力によって、各前記凹槽内に形成されたナノ突起を前記凹槽からスムーズに出すことが可能であり、前記基材は前記ナノ突起と共に粘着性を有する微細構造を形成する工程e)と、
を含むことを特徴とする粘着性を有する微細構造を製造する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
4F209AA44
, 4F209AC05
, 4F209AF01
, 4F209AG03
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209PA01
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PC06
, 4F209PC07
, 4F209PC08
, 4F209PN06
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 4F209PQ14
, 4J040EL05
, 4J040PA21
, 4J040PA35
, 4J040PA42
