特許

J-GLOBAL ID：200903069824728602

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 佐藤 洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-181261
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012542
出願日： 1996年06月21日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 コヒーレント光をインコヒーレント光に変換してレチクル面上を均一に照明するようにした照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】 光源からのコヒーレント光をインコヒーレント化光学系によってインコヒーレント光とし、該インコヒーレント光で照明系を介して被照射面を照明する照明装置において該インコヒーレント化光学系によるインコヒーレント化の状態をインコヒーレント化検出手段で検出していること。

請求項（抜粋）：

光源からのコヒーレント光をインコヒーレント化光学系によってインコヒーレント光とし、該インコヒーレント光で照明系を介して被照射面を照明する照明装置において該インコヒーレント化光学系によるインコヒーレント化の状態をインコヒーレント化検出手段で検出していることを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 527 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 515 D