特許

J-GLOBAL ID：200903069825750350

デバイスの製造方法

発明者： ジェームス エドワード ハンソン ,  アンソニー エドワード ノーベンブル
出願人/特許権者： エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137577
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225473
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 適切な感光性を有する安価な酸生成剤を含有するレジストによるデバイスの製造方法を実現する。【構成】 酸生成剤と、酸に対して敏感な材料から、化学線に対して敏感なレジスト材料が生成される。酸生成剤からの酸は酸感受性材料と相互反応し、溶解度を変化させる。特に有用な酸生成剤はベンジルおよびナフチルメチルスルホンである。

請求項（抜粋）：

デバイス基板上にレジスト層を形成し、前記レジスト層を化学線で露光して所望のパターンを形成し、前記パターンを現像する工程からなり、前記レジストは、前記レジストに溶解度の変化を起こさせるために、露光により酸を生成する酸生成剤を含有することからなるデバイスの製造方法において、前記酸生成剤は次式、【化10】 (式中、xはゼロまたは1である;Aは芳香環、カルボニルまたはシアノ基である;R1 ,R2 ,R3 およびR5 は前記酸を安定にするようなものが選択される。)で示される組成物からなることを特徴とするデバイスの製造方法。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平4-500698
  
• 特開平2-265950