特許

J-GLOBAL ID：200903069826720650

半導体装置およびSOI基板

発明者： 國清 辰也
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265228
公開番号（公開出願番号）：特開2002-076336
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 酸化シリコン膜に比べて膜厚を薄くできるとともに、劣化を防止したゲート絶縁膜を有するシステム化された半導体装置を提供することを第1の目的とし、素子分離絶縁膜やSOI基板内の埋め込み酸化膜のホットキャリア耐性を向上させることで、信頼性が向上した半導体装置を提供することを第2の目的とする。【解決手段】 シリコン基板1上に順に配設された重水素を含む酸化シリコン膜111および重水素を含む窒化シリコン膜121の2層膜で構成されるゲート絶縁膜と、窒化シリコン膜121上に順に配設されたドープトポリシリコン膜13、バリアメタル層14、タングステン等の金属膜15の3層膜で構成されるゲート電極とを備えている。また、金属膜15上には窒化シリコン膜18が配設され、ゲート絶縁膜およびゲート電極および窒化シリコン膜18を被覆するように被覆絶縁膜161が配設されている。

請求項（抜粋）：

半導体基板の主面上に配設されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に配設されたゲート電極とを有する少なくとも1種類のMOSFETを備えた半導体装置であって、前記ゲート絶縁膜は、酸化シリコン膜と酸窒化シリコン膜との2層膜であって、少なくとも1層に重水素原子を含む第1の2層膜、あるいは、窒化シリコン膜と酸窒化シリコン膜との2層膜であって、少なくとも1層に重水素原子を含む第2の2層膜、を有する、半導体装置。

IPC (22件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/283 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/76 ,  H01L 21/8234 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/08 331 ,  H01L 27/08 ,  H01L 21/8244 ,  H01L 27/11 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 27/115 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (23件)：

H01L 21/02 B ,  H01L 21/283 L ,  H01L 21/283 C ,  H01L 21/316 M ,  H01L 27/08 331 A ,  H01L 27/08 331 E ,  H01L 27/12 B ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 21/76 L ,  H01L 21/76 R ,  H01L 27/08 102 C ,  H01L 27/08 321 D ,  H01L 27/10 381 ,  H01L 27/10 434 ,  H01L 27/10 671 C ,  H01L 27/10 671 Z ,  H01L 29/78 301 R ,  H01L 29/78 371 ,  H01L 29/78 613 B ,  H01L 29/78 617 T ,  H01L 29/78 617 U ,  H01L 29/78 621 ,  H01L 29/78 627 D

Fターム (186件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104CC05 ,  4M104EE02 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE15 ,  4M104EE17 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  5F001AA17 ,  5F001AA96 ,  5F001AD17 ,  5F001AD44 ,  5F001AD60 ,  5F001AD70 ,  5F001AF05 ,  5F001AF07 ,  5F001AG21 ,  5F001AG40 ,  5F032AA07 ,  5F032AA09 ,  5F032AA14 ,  5F032AA35 ,  5F032AA43 ,  5F032AA44 ,  5F032AA47 ,  5F032AA54 ,  5F032AA77 ,  5F032AA79 ,  5F032AA84 ,  5F032BA01 ,  5F032CA16 ,  5F032DA04 ,  5F032DA25 ,  5F032DA43 ,  5F032DA53 ,  5F032DA71 ,  5F032DA78 ,  5F040DA01 ,  5F040DA17 ,  5F040DB01 ,  5F040DB03 ,  5F040DC01 ,  5F040EA08 ,  5F040EA09 ,  5F040EB12 ,  5F040EC02 ,  5F040EC04 ,  5F040EC07 ,  5F040ED01 ,  5F040ED03 ,  5F040ED04 ,  5F040ED05 ,  5F040EE05 ,  5F040EF02 ,  5F040EH02 ,  5F040EK02 ,  5F040EK05 ,  5F040EM01 ,  5F040EM02 ,  5F040EM03 ,  5F040FA05 ,  5F040FA07 ,  5F040FA11 ,  5F040FA12 ,  5F040FA18 ,  5F040FB02 ,  5F040FC10 ,  5F040FC11 ,  5F040FC13 ,  5F040FC15 ,  5F040FC21 ,  5F048AA04 ,  5F048AA07 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA16 ,  5F048BB04 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB13 ,  5F048BB16 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BF11 ,  5F048BG14 ,  5F048BH07 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F058BA20 ,  5F058BC09 ,  5F058BC10 ,  5F058BD01 ,  5F058BD04 ,  5F058BD06 ,  5F058BD16 ,  5F058BF04 ,  5F058BF07 ,  5F058BF24 ,  5F058BF25 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30 ,  5F058BF62 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ01 ,  5F058BJ06 ,  5F083AD01 ,  5F083AD02 ,  5F083AD10 ,  5F083BS00 ,  5F083ER22 ,  5F083FR00 ,  5F083FZ10 ,  5F083GA11 ,  5F083GA21 ,  5F083HA02 ,  5F083JA04 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA53 ,  5F083LA25 ,  5F083NA01 ,  5F083ZA07 ,  5F083ZA13 ,  5F083ZA14 ,  5F110AA06 ,  5F110AA19 ,  5F110AA30 ,  5F110BB03 ,  5F110BB06 ,  5F110BB07 ,  5F110BB08 ,  5F110BB20 ,  5F110CC02 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD24 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE09 ,  5F110EE15 ,  5F110EE30 ,  5F110EE32 ,  5F110EE33 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF07 ,  5F110FF09 ,  5F110FF10 ,  5F110FF30 ,  5F110FF32 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG32 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ13 ,  5F110HK05 ,  5F110HK40 ,  5F110HM15 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN24 ,  5F110NN32 ,  5F110NN37 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ17 ,  5F110QQ24