記録再生装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-109429
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307778
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】走査型トンネル顕微鏡の原理を応用した小型の、高密度かつ大容量を有する記録再生装置を得る。【構成】可動部に載置され、Si基板上に形成された記録媒体と、記録媒体に近接して先端が対向配置されるプローブ電極14が突出して設けられ、Si基板18より形成される薄膜カンチレバー状変位素子19と、Si基板15上に形成された複数の弾性ヒンジ20によって支持され、該基板面内を2方向に圧電素子によって変位される前記可動台16と、前記Si基板15及び18を圧電体支持棒17で一体化して成る。

請求項（抜粋）：

Si基板上に形成された記録媒体と、可動部に載置される該記録媒体に近接して先端が対向配置されるプローブ電極と、該プローブ電極に電圧を印加して前記記録媒体表面に摂動を加え、該表面に選択的に乱れを生じさせて記録するための記録用パルス電圧印加回路と、前記プローブ電極と記録媒体との間のトンネル電流を検出する電流増幅回路とを有する記録再生装置において、前記プローブ電極は、Si基板上に形成された1つ以上の圧電体薄膜に、該圧電体薄膜を逆圧電効果により前記記録媒体に接近する方向に変位させるための電極を積層してなる薄膜カンチレバー状変位素子に突出して設けられ、前記可動部はSi基板上に形成された複数の弾性ヒンジによって支持され、基板面内を2方向に圧電素子によって変位される可動台であることを特徴とする記録再生装置。

IPC (2件)：

G11B 9/00 , G11B 21/02 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-078037
特表平3-503586
特開平4-081907

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