特許

J-GLOBAL ID：200903069830966329

白金族-Mn合金ターゲット

発明者： 赤井 誠 ,  村田 英夫 ,  三嶋 節夫 ,  原 顕一郎
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-023621
公開番号（公開出願番号）：特開2001-220664
出願日： 2000年02月01日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】【課題】 機械的特性および成膜特性のバラツキが小さい白金族-Mn合金ターゲットを提供する。【解決手段】 αMn相が組織中に視野面積率にして1%以下である白金族-Mn合金ターゲットである。本発明において、好ましくは、介在物個数を0.1個/μm2以下に調整する。

請求項（抜粋）：

αMn相が組織中に視野面積率にして1%以下であることを特徴とする白金族-Mn合金ターゲット。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18 ,  C22C 5/04

FI (4件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 5/39 ,  H01F 41/18 ,  C22C 5/04