特許
J-GLOBAL ID：200903069832931786
固体撮像装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-124622
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317511
出願日： 1998年05月07日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズの間隔を狭小化させることにより感度を向上させた固体撮像装置を安定して製造する方法を提供する。【解決手段】 平坦化層2上にマイクロレンズ材料となる合成樹脂により層を形成し、この層21を分割し、分割した合成樹脂部分22をオーバーコート層25により覆い、この層とともに加熱することにより各合成樹脂部分をドーム型のレンズ形状へと変形させてマイクロレンズ1とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に受光部が形成され、前記受光部の上方にマイクロレンズが配置された固体撮像装置の製造方法であって、前記半導体基板の上方に形成された平坦化層の上に合成樹脂層を形成する工程と、前記合成樹脂層を前記受光部に対応する合成樹脂部分に分割する工程と、前記合成樹脂部分の少なくとも一部をオーバーコート層により覆う工程と、前記オーバーコート層とともに加熱することにより前記合成樹脂部分を凸型のレンズ形状へと変形させて前記マイクロレンズを形成する工程とを含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
