特許

J-GLOBAL ID：200903069841139203

開環メタセシス(共)重合体の水素添加物及びその製造方法

発明者： 山本 喜博 ,  須永 忠弘
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-295823
公開番号（公開出願番号）：特開平11-130843
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：

【要約】【課題】 レジスト材として用いられる新規な開環メタセシス(共)重合体の水素添加物を提供する。【解決手段】 少なくとも一般式(1)で表される構造単位[A]と一般式(2)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であることを特徴とする開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。

請求項（抜粋）：

少なくとも下記一般式(1)【化1】(式中、R1は水素、炭素数1〜20のアルキル、炭素数1〜20のハロゲン化アルキル、炭素数2〜20のアルキルカルボニル、または炭素数2〜20のアルコキシアルコキシであり、R2,R3は水素、炭素数1〜20のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、炭素数2〜20のカルボキシアルキル、炭素数1〜20のヒドロキシアルキルまたはニトリルから選ばれ、mは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[A]と下記一般式(2)【化2】(式中、R2,R3及びmは一般式(1)のものと同一)で表される構造単位[B]から構成され、その構成モル比[A]/[B]が5/95〜95/5であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0であることを特徴とする開環メタセシス(共)重合体の水素添加物。

IPC (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 501

FI (2件)：

C08G 61/08 ,  G03F 7/039 501