特許

J-GLOBAL ID：200903069841223344

平面モータ装置

発明者： 小梁川 靖 ,  冨田 良幸
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172326
公開番号（公開出願番号）：特開平5-022924
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 対象物を載置するステージ部材を比較的広い面内で高精度に駆動することのできる平面モータに関し、小型で超精密精度を実現するのに適した平面モータ装置を提供する。【構成】 対象物を載置するためのステージ部材3を、基準となる支持部材1に対して相対的に所定面内で移動させる平面モータ装置であって、ステージ部材と支持部材の一方に取り付けられ、所定面に対してほぼ垂直な方向に磁束を発生させる複数の永久磁石6、7、8とこれらの永久磁石を結合するヨーク5との組み合わせと、ステージ部材と支持部材の他方に取り付けられ、磁束と係合するように配置された複数組のコイル9、10、11とを有し、複数組のコイルの各組は、コイル電流を流したとき力が働く方向と直交する向きに配置された複数のコイルを有し、各組のコイル中組み合わせは、複数のコイルと対向するように配置された一体の永久磁石を含む。

請求項（抜粋）：

対象物を載置するためのステージ部材を、基準となる支持部材に対して相対的に所定面内で移動させる平面モータ装置であって、前記ステージ部材と前記支持部材の一方に取り付けられ、前記所定面に対してほぼ垂直な方向に磁束を発生させる複数の永久磁石とこれらの永久磁石を結合するヨ ークとの組み合わせと、前記ステージ部材と前記支持部材の他方に取り付けられ、前記磁束と係合するように配置された複数組のコイルとを有し、前記複数組のコイルの各組は、コイル電流を流したとき力が働く方向と直交する向きに配置された複数のコイルを有し、前記組み合わせは、前記各組のコイル中複数のコイルと対向するように配置された一体の永久磁石を含む平面モータ装置。

IPC (3件)：

H02K 41/02 ,  H02K 11/00 ,  H02K 41/03

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-288769
  
• 特開平3-135360
  
• 特開昭59-056888
  
• 特開平3-131912