プロセス設備のシーケンス制御装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195965
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050333
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】プロセス設備のシーケンス制御において、最短のスループットで種々のプロセスパターンに対応できるようにする。【構成】各シーケンスが実行されるときの実行時間を計測してメモリに格納する手段と、終了したシーケンスがあるとき、現に実行されているシーケンスにつき計測されている中途経過時間および既に計測されメモリに格納された前記実行時間から現に実行されているシーケンスの終了時間を演算し、この演算したシーケンスの終了時間、メモリに格納されたプロセス処理の順番、およびシーケンス実行条件情報から、最短スループットとなる実行可能なシーケンスを探索し、これを実行シーケンスとして指令する実行シーケンス選択手段とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

同一の処理対象物に対し順次に異なったプロセス処理を行う複数の処理部にて、異なった処理対象物に対し並行して処理し、またこの処理のためにこれら複数の処理部に各処理対象物を順次に搬入し、また搬出して前記処理を行う各動作を、メモリに格納された、処理対象物ごとに設定される複数のプロセス処理部による処理の順番、および各シーケンスにつき予め設定されている実行条件情報に従ったシーケンス制御により実行するようにしたプロセス設備のシーケンス制御装置において、各シーケンスが実行されるときの実行時間を計測してメモリに格納する手段と、終了したシーケンスがあるとき、現に実行されているシーケンスにつき計測されている中途経過時間および既に計測されメモリに格納された前記実行時間から現に実行されているシーケンスの終了時間を演算し、この演算したシーケンスの終了時間、メモリに格納されたプロセス処理の順番、およびシーケンス実行条件情報から、最短スループットとなる実行可能なシーケンスを探索し、これを実行シーケンスとして指令する実行シーケンス選択手段とを備えたことを特徴とするプロセス設備のシーケンス制御装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B23Q 41/08 , G05B 19/02 , G09B 19/05 , H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平2-130678
特開昭64-071134
特開平3-136754

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