特許

J-GLOBAL ID：200903069859680394

接合方法および接合装置

発明者： 田村 光範 ,  吉川 文男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-048296
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251578
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 凝固巣の発生を抑え、気密寿命の長い信頼性の気密封止構造にすること。【構成】 2つの封止用部材を所定のガス雰囲気中に保持する均熱治具を設け、この均熱治具に2つの封止用部材を保持した状態で該均熱治具を外部から加熱して2つの封止用部材の接合部のろう材を溶融し、この後に加熱を停止し、均熱治具を外部から冷却して溶融したろう材を固化させるようにした。

請求項（抜粋）：

内部に空間を有する2つの封止用部材をハンダ等のろう材で接合して気密封止する接合方法において、前記2つの封止用部材を所定のガス雰囲気中に保持する均熱治具を設け、この均熱治具に2つの封止用部材を保持した状態で該均熱治具を外部から加熱して2つの封止用部材の接合部のろう材を溶融し、この後に加熱を停止し、均熱治具を外部から冷却して溶融したろう材を固化させることを特徴とする接合方法。