特許
J-GLOBAL ID：200903069860001972
化学反応装置およびその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143525
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006994
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 連続処理で基板が次から次へと反応室に搬送されてきても、大気が反応室に流入しないようにする。【構成】 化学反応装置は、第1の緩衝室1、反応室2、第2の緩衝室3、水洗室4及び乾燥室5が順次設けられている。第1の緩衝室1の基板搬入口51には第1のゲートバルブ40が設けられ、第1の緩衝室1と反応室2とを連通させる第1の連通孔52には第2のゲートバルブ41が設けられ、反応室2と第2の緩衝室3とを連通させる第2の連通孔53には第3のゲートバルブ42が設けられ、第2の緩衝室3と水洗室4とを連通させる第3の連通孔54には第4のゲートバルブ43が設けられている。第1のゲートバルブ40及び第2のゲートバルブ41のうちのいずれか一方、及び第3のゲートバルブ42及び第4のゲートバルブ43のうちのいずれか一方は常に閉じられており、反応室2が大気と連通することはない。
請求項（抜粋）：
搬入された基板に反応液を供給して化学処理を行なう反応室と、化学処理が施された基板に純水を供給して洗浄を行なう水洗室と、上記反応室の基板搬入側に隣接して設けられ第1の連通孔を介して上記反応室と連通しており上記反応室内の反応液の拡散を防止する第1の緩衝室と、上記反応室と上記水洗室との間に設けられ第2の連通孔を介して上記反応室と連通し且つ第3の連通孔を介して上記水洗室と連通しており上記反応室内の処理液が上記水洗室に持ち出されるのを防止する第2の緩衝室とを備えた化学反応装置であって、上記第1の緩衝室の基板搬入口を開閉する第1のゲートバルブと、上記第1の連通孔を開閉する第2のゲートバルブと、上記第2の連通孔を開閉する第3のゲートバルブと、上記第3の連通孔を開閉する第4のゲートバルブとを備えていることを特徴とする化学反応装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 351
, H05K 3/06
