特許
J-GLOBAL ID：200903069862340537
有機薄膜コンデンサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-097897
公開番号（公開出願番号）：特開2004-304109
出願日： 2003年04月01日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】有機薄膜コンデンサの製造工程において、有機材料の硬化反応速度は、生産スループットに大きく関係するものであり、硬化速度の遅い材料ジビニル有機材料を用いたい場合も従来と同等以上のスループットを有する材料反応形態を維持することが必要である。【解決手段】有機材料の硬化手段として、イオンを発生するイオンソースユニットを材料硬化ユニットとして使用することにより、イオン重合反応を発生させ、硬化速度を向上させる。また、気化した有機材料が、支持体に蒸着する前に、イオンを少量照射することにより、半硬化の状態にて蒸着反応を実施し、本来のイオンによる硬化ユニットでの硬化時間の短縮を図ることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
少なくとも2個以上のビニル基を有し、常温大気圧において液体または紛体であり、硬化重合反応可能な有機材料を、真空容器中に設けた蒸発器に導く工程と、(a)前記材料を前記材料の沸点以上で硬化温度以下の温度で加熱して蒸発させ、回転する冷却された支持体の表面上、前記支持体上に形成済の誘電体硬化薄膜上、金属薄膜の蒸着面上の一方に前記有機材料を蒸着すると同時に、回転方向の次工程にあたる有機材料硬化ユニット部にて、イオン源より照射されるイオンにて有機蒸着膜にイオン重合反応を開始させるまで活性化エネルギーを与え硬化反応させる工程と、(b)前記支持体上に形成された前記誘電体層の上に、前記支持体の回転方向に沿って平行に並ぶ、パーフルオロアルキルエーテルからなるオイル薄膜を、前記支持体の任意の周回毎に、前記オイル薄膜の幅方向の位置を切り替えて形成する工程と、前記オイル薄膜形成工程の後に、アルミニウムを蒸着させ、非金属化部を有する金属薄膜からなる蒸着電極層を形成する工程と、前記蒸着電極層形成工程の後に、前記パーフルオロアルキルエーテルからなるオイル薄膜を除去する工程と、(c)前記支持体の一周回中に前記(a)、(b)の工程を各々少なくとも1回以上行う工程と、(d)前記支持体の一周回中に前記(a)の工程を少なくとも1回以上行う工程、前記支持体を複数回周回して、前記(c)の工程および前記(d)の工程を各々任意に複数回繰返して、前記誘電体層と、非金属化部を有する前記蒸着電極層とが複数層交互に積層され、かつ複数条の前記非金属化部の位置を切り替えることにより、前記誘電体層とこれを介して対向する前記蒸着電極層により構成される静電容量に寄与する部分を有する積層体を形成する工程と、前記支持体上から前記積層体を分離する工程を含むことを特徴とする有機薄膜コンデンサの製造方法。
IPC (4件)：
H01G13/00
, H01G4/18
, H01G4/30
, H01G4/33
H01G13/00 391C
, H01G4/18 324A
, H01G4/30 311F
, H01G4/06 102
5E082AA01
, 5E082AB03
, 5E082BC32
, 5E082BC40
, 5E082EE05
, 5E082EE24
, 5E082EE37
, 5E082EE50
, 5E082FF05
, 5E082FG03
, 5E082FG37
, 5E082FG42
, 5E082FG60
, 5E082MM06
, 5E082MM09
