特許
J-GLOBAL ID：200903069863290525
ワイヤソーのガイドローラ磨耗検知装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-020994
公開番号（公開出願番号）：特開平11-216659
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】確実にガイドローラの磨耗を検知することができるワイヤソーのガイドローラ磨耗検知装置の提供。【解決手段】ガイドローラ16の溝16Aが所定量磨耗するとガイドローラ16内に埋設されていた検出バー70a〜70dが溝16A内に露出する。溝16A内に露出した検出バー70a〜70dはワイヤ14を介して互いに接続され、この結果、回路に電流が流れて発光ダイオード82が発光する。そして、この発光ダイオード82が発光した光を受光センサ84で受光することによって、ガイドローラ16が所定量磨耗したことを検知する。
請求項（抜粋）：
ガイドローラにガイドされながら走行するワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、そのワイヤ列に被加工物を押し当てることにより多数枚のウェーハを同時に切断するワイヤソーにおいて、前記ガイドローラを回動自在に支持する回転体と、前記ガイドローラに埋設され、該ガイドローラが所定量磨耗すると溝内に露出して、ワイヤを介して導通される一組の検出子と、前記回転体に設けられ、前記ガイドローラの検出子と接続される一組の電極と、前記回転体に設けられ、前記一組の電極の間に電圧を印加するバッテリーと、前記一組の電極の間の通電を検出することにより、前記ガイドローラの磨耗を検知する磨耗検知手段と、からなることを特徴とするワイヤソーのガイドローラ磨耗検知装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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