特許

J-GLOBAL ID：200903069865476472

反射鏡の製造方法又は反射型照明装置又は半導体露光装置

発明者： 瀧野 日出雄 ,  柴田 規夫 ,  品田 邦典
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-267313
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162415
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、設計通りの反射面形状を有する多光源形成反射鏡を歩留まり良く製造できる製造方法を提供することを第1の目的にし、更には、よりスループットの高い半導体露光装置を得ることを第2の目的にしている。【解決手段】 上記の目的を達成するために、本発明の第1の形態では、所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を複数形成し、所定の位置に配置してなる反射鏡の製造方法であって、被加工物から反射面以外の形状が要素反射面の形状になるように切り出して、ブランクを形成する工程(S002)と、次に、ブランクを組み込み用部材に組み込む工程(S003)と、次に、組み込み部材と共にブランクを切削又は研削加工して、ブランクの面を所定の曲面形状に加工する工程(S004)と、次に、所定の曲面形状に加工されたブランクの面を研磨加工して要素反射面を形成する工程(S005)と、次に、加工されたブランクをより取り出す工程(S006)とを複数回行い、要素反射面が複数有したブランクを前記所定の位置に配列することとした。

請求項（抜粋）：

所定の曲面の一部を面形状とする要素反射面を複数形成し、所定の位置に配置してなる反射鏡の製造方法であって、被加工物から反射面以外の形状が所望の形状になるように切り出して、ブランクを形成する工程と、次に、前記ブランクを組み込み用部材に組み込む工程と、次に、前記組み込み用部材と共にブランクを切削又は研削加工して、前記ブランクの面を前記所定の曲面形状に加工する工程と、次に、前記所定の曲面形状に加工された前記ブランクの面を研磨加工して要素反射面を形成する工程と、次に、加工された前記ブランクを前記組み込み用部材から取り出す工程とを複数回行い、要素反射面を有した複数のブランクを前記所定の位置に配列することで製造される反射鏡の製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/10 ,  G02B 17/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/10 C ,  G02B 17/00 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 531 A