特許
J-GLOBAL ID：200903069867739772
接続装置、その製造方法および検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-042419
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239348
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 エッチング工程を用いずに形成された先端の尖った接触端子を有する接続装置、また、接触面の高さの相違に応じた高さを有する、先端の尖った複数の接触端子を有する接続装置、および、それらの製造方法を提供する。【解決手段】 引き出し用配線105を形成した絶縁膜104の該配線上の複数箇所に、導電性の微粒子を吹き付けて、先端が尖った形状の突起を形成して接触端子103を形成する。この接触端子103を設けた絶縁膜104を基板109に接着し、さらに、配線基板107に固定して、接続装置が得られる。また、この接続装置を低荷重でプロービングすることにより検査装置が得られる。
請求項（抜粋）：
検査対象と電気的に接触して、電気信号を授受するための接続装置であって、検査対象と電気的に接触するための複数個の接触端子と、各接触端子から引き出される引き出し用配線とを備え、前記接触端子は、先端が尖った形状の突起状の構造であり、該突起は、導電性の微粒子を吹き付けて形成されたものであることを特徴とする接続装置。
IPC (3件)：
G01R 1/06
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/06 F
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
