特許
J-GLOBAL ID：200903069872219906
マイクロメカニカルデバイスおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-155686
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028937
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 優れたコントラスト比の像を生成し、電気的に信頼性の高いマイクロメカニカルデバイスを提供する。【解決手段】本発明のマイクロメカニカルデバイスは、基板(104)、基板上方に支えられた偏向可能剛性部材(302,314,326)、および偏向可能剛性部材から離されて基板上方に支えられた少なくとも1つのスプリング(328)を含む。スプリングは、偏向可能剛性部材がスプリングとコンタクトするように偏向する時に、偏向可能剛性部材の偏向に抵抗する。本マイクロメカニカルデバイスは、投射ディスプレイシステムとして有用であり、電気的につながれたコントローラによって、入射光を選択的に反射させて像プレーン上へ集束させるように制御される。
請求項（抜粋）：
進歩したマイクロメカニカルデバイスであって、基板、前記基板を覆って支えられた偏向可能剛性部材、および前記偏向可能剛性部材から離されて、前記基板の上方に支えられた少なくとも1つのスプリングであって、前記偏向可能剛性部材の偏向が前記偏向可能剛性部材と前記スプリングとの間にコンタクトを形成する時に、前記偏向可能剛性部材の偏向に抵抗するように動作するスプリング、を含む進歩したマイクロメカニカルデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, G02B 7/18 B
