感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287297
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314958
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】低スラッジ性、テント信頼性及び剥離特性が優れる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、レジストパターンの製造法並びにプリント配線板の製造法を提供する。【解決手段】 (A)バインダーポリマ、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含み、前記(B)成分が下記一般式(I)で示される化合物及び下記一般式(III)で表される化合物を必須成分として含む

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマ、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物並びに(C)光重合開始剤を含み、前記(B)成分が一般式(I)【化1】〔式中、R1は炭素数1〜10のアルキレン基を示し、R2は一般式(II)【化2】(式中、R3は水素原子又はメチル基を示し、X1は炭素数2〜6のアルキレン基を示し、mは1〜14の整数である)で表される基を示す〕で示される化合物及び一般式(III)【化3】(式中、R4は水素原子又はメチル基を示し、X2は一般式(II)におけるX1と同意義であり、Zはハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、炭素数1〜10のアルキルアミノ基、炭素数2〜20のジアルキルアミノ基、ニトロ基、シアノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキシ基又は複素環を含む基を示し、nは1〜20の整数であり、kは0〜5の整数である)で表される化合物を必須成分として含む感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (4件)：

G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , H05K 3/06 H , H05K 3/18 D

Fターム (38件)：

2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA16 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC32 , 2H025BC48 , 2H025BC65 , 2H025BC83 , 2H025CA00 , 2H025CB00 , 2H025CB42 , 2H025EA08 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 5E339BE11 , 5E339CC01 , 5E339CD01 , 5E339CE12 , 5E339CE16 , 5E339CF01 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339DD02 , 5E339GG01 , 5E343AA02 , 5E343AA12 , 5E343BB21 , 5E343BB71 , 5E343CC62 , 5E343DD32 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343GG03

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