特許
J-GLOBAL ID:200903069878641006

電子回路素子の端部位置特定およびジッタの測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内原 晋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-252110
公開番号(公開出願番号):特開2002-139553
出願日: 2001年08月22日
公開日(公表日): 2002年05月17日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】自動検査装置によるICなど電子回路素子の伝播遅延、セットアップ時間および保留時間の正確な測定。【解決方法】この装置は、パターン源(1)の制御端子および可変クロック信号遅延手段(12)の入力端子に接続しているストローブ源(10)を含む。ストローブ源(10)は、パターン源をトリガして論理「0」および「1」の系列から成る信号を被試験デバイス(DUT)(4)の入力端子に出力させる。DUT(4)は、この論理系列をフリップフロップ(6)に伝播する。第1および第2のフリップフロップ(6),(8)を伝播した信号を遅延の後補足する。フリップフロップへのクロック信号端をデータ信号端と一致させることによってDUTの遅延時間を算出する。
請求項(抜粋):
被検電子回路素子の特性を測定する装置であって、出力端子を有するストローブ源と、前記被検電子回路素子の入力端子に接続される出力端子と、前記ストローブ源の前記出力端子に接続した入力端子とを有するパターン源と、前記ストローブ源の前記出力端子に接続した入力端子と、出力端子とを有する可変遅延手段と、前記被検電子回路素子の出力端子に接続される入力端子と、前記可変遅延手段の前記出力端子に接続したクロック端子と、出力端子とを有する第1の蓄積素子と、前記第1の蓄積素子の前記出力端子に接続した入力端子と、前記可変遅延手段の前記出力端子に接続したクロック端子と、出力端子とを有する第2の蓄積素子とを含む測定装置。
IPC (3件):
G01R 31/28 ,  G01R 29/02 ,  G01R 31/319
FI (3件):
G01R 29/02 L ,  G01R 31/28 H ,  G01R 31/28 R
Fターム (4件):
2G132AD07 ,  2G132AG02 ,  2G132AG08 ,  2G132AL11

前のページに戻る