特許
J-GLOBAL ID：200903069882985259
ピックアップ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-035414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236598
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 突き上げ針6の不具合(摩耗、変形、折れ等)による半導体ペレット11の破損を防止する。【構成】 粘着シート11に貼り付けられた半導体ペレット10の貼付面に少なくとも2本の突き上げ針6の夫々の先端を当接し、この2本の突き上げ針6の夫々で半導体ペレット11をその上方に突き上げるペレット突き上げ機構2を備えたピックアップ装置において、2本の突き上げ針6間に電圧を印加する電源部3と、2本の突き上げ針6間に印加された電圧を測定する電圧測定器4又は印加された電圧によって流れる電流を測定する電流測定器9とを備える。
請求項（抜粋）：
粘着シートに貼り付けられた半導体ペレットの貼付面に少なくとも2本の突き上げ針の夫々の先端を当接し、この2本の突き上げ針の夫々で前記半導体ペレットをその上方に突き上げるペレット突き上げ機構を備えたピックアップ装置において、前記2本の突き上げ針間に電圧を印加する電源部と、前記2本の突き上げ針間に印加された電圧を測定する電圧測定器又は印加された電圧によって流れる電流を測定する電流測定器とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 E
, H01L 21/78 Y
