特許
J-GLOBAL ID：200903069885277328
レチクル検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093876
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282008
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 簡素な構成で、ダイ同士を並行に画像比較して短時間にレチクルのパターン欠陥を検出できるレチクル検査装置を提供する。【解決手段】 各フレームを順次スキャンしてレチクルを撮像するスキャン光学系10と、スキャンしたフレームを複数の分配先に順次分配するフレーム分配部30と、第1のダイのフレームを一時的に記憶するフレームバッファを備え、第1のダイの各フレームとこれに対応する第2のダイの各フレームとを並行的に画像比較して第2のダイでのパターン欠陥を検出する複数の分配先としての複数の画像比較部50-1、50-2、50-3、50-4とを有している。所定のフレーム長と所定のパターン長との関係を算出し、算出された関係を利用してフレーム間の重なり長を調整するフレーム重なり調整手段をフレーム分配器30内に有している。
請求項（抜粋）：
互いに同じパターンおよび所定のパターン長を持つ第1および第2のダイがパターン長方向に連続的に配列されたレチクルについて、連続する該第1および第2のダイを所定のフレーム長を持ちかつ重なり合う複数のフレームに分割した形態でもって各フレームを順次スキャンすると共に、スキャンしたフレームを複数の分配先に順次分配し、該第1のダイの各フレームとこれに対応する該第2のダイの各フレームとを該複数の分配先にて並行的に画像比較して該第2のダイでのパターン欠陥を検出するレチクル検査装置において、前記所定のフレーム長と前記所定のパターン長との関係を算出し、算出された該関係を利用して前記フレーム間の重なり長を調整するフレーム重なり調整手段を有することを特徴とするレチクル検査装置。
引用特許：
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