特許
J-GLOBAL ID：200903069889837875
Ti-Al合金ターゲット材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-278297
公開番号（公開出願番号）：特開平8-120445
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：
【要約】【目的】 金属粉末の混合粉末を原料として使用した場合にも均一な組成が得られ、焼結後の密度が高く、かけたりすることがなく、高品質のターゲット材を低コストで製造することができるTi-Al合金ターゲット材の製造方法を提供する。【構成】 Tiを30〜70原子%含有するTi-Al合金ターゲット材を製造する方法において、100メッシュ以下のTi粉末と240メッシュ以下のAl又はAl合金粉末とを混合したものを原料として使用する。そして、前記原料粉末に前記Ti粉末及びAl又はAl合金粉末の外に、Si、B、Nb、Cr、Y及びCeからなる群から選択された少なくとも1種の第3元素の粉末を10原子%以下添加することができる。この原料粉末を混合した後、これを蛇腹カプセルに充填し、温度が500〜600°C、圧力が700kgf/cm2以上の条件で熱間静水圧加圧処理を行うことにより、Ti-Al合金ターゲット材を製造することができる。
請求項（抜粋）：
Tiを30〜70原子%含有するTi-Al合金ターゲット材を製造する方法において、100メッシュ以下のTi粉末と240メッシュ以下のAl又はAl合金粉末とを混合したものを原料とすることを特徴とするTi-Al合金ターゲット材の製造方法。
IPC (6件)：
C23C 14/34
, C22C 1/04
, C22C 14/00
, C22C 21/00
, C22F 1/04
, C22F 1/18
