特許

J-GLOBAL ID：200903069890275783

放射線検出素子及びその製造方法

発明者： 高林 敏雄 ,  本目 卓也 ,  黄 忠守
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-192899
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027863
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 X線感度及び解像度ともに優れた大面積の放射線検出素子を提供するとともに、その簡単な製造方法を提供することを目的とする。【構成】 基板上に複数の画素30とともに、この各画素に対応したピッチで形成された凹状又は凸状パターン8を有する1次元又は2次元の光センサ3と、この1次元又は2次元光センサ3上に成長させ、凹状又は凸状パターンに沿って選択的に生じさせた亀裂により区切られたシンチレータ40が、各画素にそれぞれ位置的に対応したシンチレータ部4を備えた構成であって、特に、この凹状又は凸状パターン8はシンチレータ40の生成過程で選択的に亀裂を生じさせるための所定の断面形状を有する。このシンチレータに生じた亀裂により、放射線入射によるシンチレーション光は対応する画素30によってのみ検出される。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の画素とともに、該各画素に対応したピッチで形成された凹状又は凸状パターンを有する1次元又は2次元の光センサと、前記凹状又は凸状パターンに沿って選択的に生じさせた亀裂によって区切られた各シンチレータが、前記1次元又は2次元光センサの各画素とそれぞれ位置的に対応しているシンチレータ部を備えた放射線検出素子。