特許

J-GLOBAL ID：200903069894328016

圧力、歪、温度の同時計測方法

発明者： 岡村 広正
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094145
公開番号（公開出願番号）：特開平9-280911
出願日： 1996年04月16日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：

【要約】【課題】 微小な一点の圧力、温度、及び歪を、薄膜センサを用いて同時に測定することができる圧力、歪、温度の同時計測方法を提供する。【解決手段】 圧力、歪、温度に対して、それぞれ異なる特性を有する3種類の物質からなる薄膜センサ素子を微小間隔を隔てて隣接配置して複合薄膜センサ4を形成し、この複合センサ4の各センサ素子の出力をそれぞれホイートストンブリッジ回路11〜13に接続し、各センサ素子の圧力、歪、温度による抵抗変化をそれぞれ電圧変化に変換して検出し、圧力、歪、温度に対して、第1の物質から得られた3つの検出値、第2の物質から得られた3つの検出値、第3の物質から得られた3つの検出値、及び各物質の抵抗変化の検出値を用いて、温度変化、圧力変化、及び歪変化に関する三元連立方程式を立て、この三元連立方程式を解くことによって圧力、歪、温度の測定値を同時に求める。

請求項（抜粋）：

圧力、歪、温度に対して、それぞれ異なる特性を有する3種類の物質をそれぞれ使用して形成した第1、第2、第3の薄膜センサ素子を、微小間隔を隔てて隣接配置して複合薄膜センサを形成し、この複合センサの各センサ素子の出力をそれぞれ抵抗値-電圧変換回路に接続し、前記各センサ素子の圧力、歪、温度による抵抗変化をそれぞれ電圧変化に変換して検出し、圧力、歪、温度に対して、第1の薄膜センサ素子から得られた3つの検出値、第2の薄膜センサ素子から得られた3つの検出値、第3の薄膜センサ素子から得られた3つの検出値、及び各薄膜センサ素子の抵抗変化の検出値を用いて、温度変化、圧力変化、及び歪変化に関する三元連立方程式を立て、この三元連立方程式を解くことによって、圧力、歪、温度を同時計測することを特徴とする圧力、歪、温度の同時計測方法。

IPC (4件)：

G01D 21/02 ,  G01B 7/16 ,  G01K 7/22 ,  G01L 1/22

FI (4件)：

G01D 21/02 ,  G01K 7/22 A ,  G01L 1/22 M ,  G01B 7/18 G