特許

J-GLOBAL ID：200903069896066370

試料切断面の観察方法及びその装置

発明者： 南都 寛
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-346557
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155097
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】【課題】 撮像装置を、簡単な装置により的確に撮像位置へセット可能にする。【解決手段】 カッタ17により先端部分を切断される試料12の切断面12aに対する撮像装置20の位置すなわち距離Lをロータリエンコーダ25により計測しつつ、操作部27により、距離Lが、対物レンズ20aの焦点距離となる位置へ撮像装置20を移動させる。これにより画像表示部28に切断面12aの画像が現れる。次いで、この画像を見ながら撮像装置20の位置を微調整して焦点合わせを行う。

請求項（抜粋）：

試料の先端部分を切断し、現れた切断面を撮像装置により観察するに際し、前記切断面に対し前記撮像装置が撮像可能なセット位置を予め求める工程と、撮像装置を前記セット位置へ移動させる工程と、撮像装置の出力画像に基づいて前記切断面に対する撮像装置の位置を微調整する工程とを有することを特徴とする試料切断面の観察方法。

IPC (3件)：

G01N 21/84 ,  G01N 1/28 ,  G02B 21/00

FI (3件)：

G01N 21/84 D ,  G02B 21/00 ,  G01N 1/28 G

Fターム (12件)：

2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051CA06 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  2G051CD02 ,  2H052AD05 ,  2H052AD08 ,  2H052AF01 ,  2H052AF03 ,  2H052AF14 ,  2H052AF23