特許
J-GLOBAL ID：200903069898654104
流体の流量制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-105535
公開番号（公開出願番号）：特開平7-310841
出願日： 1994年05月19日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 高速開閉型バルブを通してパルス状流体を供給する流体供給システムに於いて、供給流体の流量制御の高精度化と流量制御の容易化を図る。【構成】 高速開閉型バルブを通してパルス状流体を供給する流体供給システムに於いて、高速開閉型バルブを圧電素子によりダイヤフラム弁体を駆動する形式のバルブとすると共に、制御装置から高速開閉型バルブの圧電素子へ加えるパルス入力信号を調整し、高速開閉型バルブより流出するパルス状流体のデューティー比αを変えることにより、流体流量を制御する。
請求項（抜粋）：
高速開閉型バルブを通し、流体をパルス状の流れとして供給する流体供給システムに於いて、前記高速開閉型バルブを圧電素子によりダイヤフラム弁体を駆動する圧電素子駆動式ダイヤフラム型バルブとすると共に、制御装置から前記高速開閉型バルブの圧電素子駆動部へ加えるパルス入力信号を調整し、前記高速開閉型バルブより流出するパルス状流体のデューティー比αを変えることにより、供給する流体の流量を制御することを特徴とする流体の流量制御方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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