特許
J-GLOBAL ID：200903069903661173
磁気抵抗効果型ヘッド製造方法および複合型磁気ヘッド製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 正紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249785
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076322
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 再生波形の歪みの小さな磁気抵抗効果型ヘッドを製造しかつその磁気抵抗効果型ヘッドの製造における歩留まりを向上させる磁気抵抗効果型ヘッド製造方法を提供する。【解決手段】 ウェハ11上に複数の素子部12を形成する素子形成工程と、この素子形成工程で形成された複数の素子部12に一括して電流を供給する配線13を形成する配線形成工程と、この配線13の形成されたウェハに加熱処理を行いつつ、上記配線形成工程で形成された配線13を通じてこれらの複数の素子部13それぞれに一括して電流を流し、これらの素子部それぞれの固定側磁性層の磁化の方向を固定する磁化方向固定工程とを有する。
請求項（抜粋）：
外部磁界に応じて磁化の方向が変化する自由側磁性層と磁化の方向が固定された固定側磁性層とを含む多層膜である、外部磁界の強さに応じた抵抗変化を示す磁気抵抗効果素子を備え、該磁気抵抗効果素子にセンス電流が流され前記抵抗変化に応じて変化する電圧を出力する磁気抵抗効果型ヘッドを製造する磁気抵抗効果型ヘッド製造方法において、ウェハ上に複数の磁気抵抗効果素子を形成する素子形成工程と、前記素子形成工程で形成された複数の磁気抵抗効果素子に一括して電流を供給する配線を形成する配線形成工程と、前記複数の磁気抵抗効果素子に加熱処理を行いつつ、前記配線形成工程で形成された配線を通じて該複数の磁気抵抗効果素子それぞれに一括して電流を流し、該磁気抵抗効果素子それぞれの固定側磁性層の磁化の方向を固定する第1の磁化方向固定工程とを有することを特徴とする磁気抵抗効果型ヘッド製造方法。
Fターム (4件)：
5D034BA02
, 5D034BA08
, 5D034BA16
, 5D034DA07
