特許

J-GLOBAL ID：200903069905500576

X線顕微鏡用試料カプセルおよびその温度制御装置

発明者： 大関 尚夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-055753
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247909
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：

【要約】【目的】 観察試料を封入したまま、観察試料あるいは試料空間の温度を測定できるX線顕微鏡用試料カプセルを提供する。【構成】 2枚のチップ1、2の間に形成された試料空間Sと有するX線顕微鏡用試料カプセルにおいて、試料空間Sに温度センサ30を設ける。

請求項（抜粋）：

2枚のチップの間に試料空間が形成されるX線顕微鏡用試料カプセルにおいて、前記試料空間に温度センサを設けたことを特徴とするX線顕微鏡用試料カプセル。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 33/48 ,  G21K 7/00

FI (5件)：

G01N 1/28 W ,  G01N 33/48 E ,  G21K 7/00 ,  G01N 1/28 U ,  G01N 1/28 K