特許
J-GLOBAL ID：200903069906077812
導電性ボールの配列用マスク及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-333147
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147697
出願日： 2004年11月17日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】本発明は、所定のパターンで被配列体に確実に導電性ボールを配列可能な配列用マスク及びその製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明の一態様は、所定のパターンで導電性ボールを被配列体に配列するマスクであって、前記パターンに対応し前記導電性ボールが挿通可能で少なくとも一方の開口端縁の全周がC面又はR面をなす導電性ボールの配列用マスクである。また、本発明の一態様は、所定のパターンで導電性粒子を被配列体に配列するマスクの製造方法であって、前記パターンに対応し前記導電性粒子が挿通可能なように平板状の基体に形成された位置決め用貫通孔の少なくとも一方の開口端縁の全周をレーザーでC面状またはR面状に加工する導電性ボールの配列用マスクの製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
所定のパターンで導電性粒子を被配列体に配列するマスクであって、前記パターンに対応し前記導電性粒子が挿通可能で少なくとも一方の開口端縁の全周がC面又はR面をなす導電性ボールの配列用マスク。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/92 604H
, H05K3/34 505A
, H05K3/34 509
5E319AA03
, 5E319AB05
, 5E319BB04
, 5E319CC33
, 5E319CD04
, 5E319CD26
, 5E319GG09
, 5E319GG15
