特許

J-GLOBAL ID：200903069909648039

任意の対象物の表面プロフィールを同時多焦点結像するための装置および方法

発明者： エンゲルハルト、ヨハン ,  ザフ、トーマス ,  ウルリッヒ、ハインリヒ
出願人/特許権者： ライカ ミクロジュステムス ハイデルベルク ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-525073
公開番号（公開出願番号）：特表2001-511902
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 2001年08月14日
要約：

【要約】任意の対象物(2)の表面プロフィール(1)を同時多焦点結像するための共焦点顕微鏡装置および方法、とりわけ歯の表面プロフィール(1)を測定するための装置および方法であって、対象物(2)を照明するための光源(3)と、対象物(2)の表面(1)から戻った光信号(5)を焦点合わせするための光学系(4)と、光信号(5)を記録する検知器(6)と、検知された光信号をデジタル化し、さらに処理するプロセッサ(7)とを有する形式のものにおいて、表面プロフィール(1)を高速、かつ再現性を以て、しかもできるだけ僅かな装置コストと甘受できる構造寸法で走査するために、検知ビーム路(8)中に光学系(4)に後置され、検知器に前置されたビーム光分離器が、対象物(2)の種々の画像面から戻った光(10)を同時に光分離するため設けられており、光分離された光(11)は検短器(6)に導かれることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

任意の対象物(2)の表面プロフィール(1)を同時多焦点結像するための装置、とりわけ歯の表面プロフィール(1)を測定するための装置であって、対象物(2)を照明するための光源(3)と、対象物(2)の表面(1)から戻った光信号(5)を焦点合わせするための光学系(4)と、光信号(5)を記録する検知器(6)と、検知された信号をデジタル化し、さらに処理するプロセッサ(7)とを有する形式の装置において、 検知ビーム路(8)中に光学系(4)に後置され、検知器に前置されたビーム光分離器が、対象物(2)の種々の画像面から戻った光(10)を同時に光分離するため設けられており、光分離された光(11)は検知器(6)に導かれる、ことを特徴とする装置。

IPC (4件)：

G02B 21/00 ,  G01B 11/24 ,  G02B 21/36 ,  G11B 7/135

FI (4件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/36 ,  G11B 7/135 Z ,  G01B 11/24 A