特許
J-GLOBAL ID：200903069914666606
弾性表面波デバイスとその製造方法およびそれを用いた移動体通信機器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999002097
公開番号（公開出願番号）：WO1999-054995
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 1999年10月28日
要約：
【要約】弾性表面波デバイスの電極材料として、第1の金属層4上に第2の金属層5が積層された積層体が少なくとも2段以上積層され、かつ第1の金属層4はAlへの拡散係数がAlの自己拡散係数よりも小さい金属を用い、かつ第2の金属層5として少なくとも1種類以上の常温においてAlに対し固溶する金属と、少なくとも1種類以上の常温においてAlの粒界において偏析もしくはAlとの金属間化合物を形成する金属の、少なくとも2種類の金属が添加された3元以上のAl合金を用いることにより、耐電力性に優れ、従来のパターン形成技術を用いることができ、熱的にも安定で挿入損失の増加を防止できる弾性表面波デバイスが得られる。
請求項（抜粋）：
基板上に第1の金属層上に第2の金属層が積層された積層体が少なくとも 2段以上積層された電極を有する弾性表面波デバイスにおいて、第1の金属 層はAlへの拡散係数がAlの自己拡散係数よりも小さい金属からなり、第 2の金属層は少なくとも1種類以上の常温においてAlに対し固溶する金属 と、少なくとも1種類以上の常温においてAlの粒界で偏析もしくはAlと の金属間化合物を形成する金属が添加された3元以上のAl合金からなる電 極を有する弾性表面波デバイス。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 9/64
, H03H 3/08
