スパッタターゲット製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：笹島富二雄 , 西山春之 , 小川護晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-127314
公開番号（公開出願番号）：特開2007-031827
出願日： 2006年05月01日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】無傷のビレット材を製造することにより、改善されたPTFを有し、欠陥のない化学的に均質なスパッタターゲットを提供する。【解決手段】合金系に対応する組成となるよう純元素又は母合金からなる複数の原料を調製し(S402)、複数の原料を真空雰囲気或いは低圧のアルゴン(Ar)雰囲気中で液状態まで加熱して合金系に対応する溶融合金を形成し(S404)、溶融合金を凝固させてインゴットを形成し(S405)、インゴットを液状態まで再加熱して拡散溶融合金を形成し(S406)、拡散溶融合金を急速凝固して均質合金粉末材料とし(S407)、均質合金粉末材料を圧粉して高密度均質材料とし(S408)、高密度均質材料を熱間圧延し(S409)、高密度均質材料を冷間圧延し(S410)、高密度均質材料を機械加工してスパッタターゲットを形成する(S411)。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

Co-(5-40at.%)Fe-(5-20at.%)B又はCo-(5-25at.%)Cr-(5-25at.%)Pt-(5-20at.%)B-(0.2-7.5at.%)X1及び随意的な(0.5-7.5at.%)X2(ここで、X1は、銅(Cu),銀(Ag)又は金(Au)を表し、X2は、チタン(Ti),バナジウム(V),イットリウム(Y),ジルコニウム(Zr),ニオブ(Nb),モリブデン(Mo),ルテニウム(Ru),ロジウム(Rh),ランタン(La),ハフニウム(Hf),タンタル(Ta),タングステン(W)又はイリジウム(Ir)を表す)として定式化されたコバルト(Co)を主成分とするスパッタターゲットの製造方法であって、 Co-(5-40at.%)Fe-(5-20at.%)B又はCo-(5-25at.%)Cr-(5-25at.%)Pt-(5-20at.%)B-(0.2-7.5at.%)X1及び随意的な(0.5-7.5at.%)X2合金系に対応する組成となるように、純元素又は母合金からなる複数の原料を調製する工程と、前記複数の原料を、真空雰囲気或いは低圧のアルゴン(Ar)雰囲気中で液状態まで加熱して、Co-(5-40at.%)Fe-(5-20at.%)B又はCo-(5-25at.%)Cr-(5-25at.%)Pt-(5-20at.%)B-(0.2-7.5at.%)X1及び随意的な(0.5-7.5at.%)X2合金系に対応する溶融合金を形成する工程と、前記溶融合金を凝固させてインゴットを形成する工程と、前記インゴットを液状態まで再加熱して拡散溶融合金を形成する工程と、前記拡散溶融合金を急速凝固して均質合金粉末材料にする工程と、前記均質合金粉末材料を圧粉して高密度均質材料にする工程と、前記高密度均質材料を冷間圧延する工程と、前記高密度均質材料を機械加工してスパッタターゲットを形成する工程と、を具備することを特徴とするスパッタターゲット製造方法。

IPC (11件)：

C23C 14/34 , B22F 3/15 , B22F 3/24 , B22F 9/08 , C22C 33/02 , C22C 1/04 , C22C 19/07 , C22C 19/05 , C22C 38/00 , C22C 19/03 , B22D 18/06

FI (13件)：

C23C14/34 A , B22F3/15 M , B22F3/24 D , B22F9/08 A , B22F9/08 C , C22C33/02 B , C22C1/04 B , C22C1/04 E , C22C19/07 M , C22C19/05 J , C22C38/00 302Z , C22C19/03 M , B22D18/06 501Z

Fターム (29件)：

4K017AA04 , 4K017BA03 , 4K017BA04 , 4K017BA06 , 4K017BB02 , 4K017BB04 , 4K017BB05 , 4K017BB06 , 4K017BB08 , 4K017BB09 , 4K017BB12 , 4K017BB14 , 4K017CA01 , 4K017DA09 , 4K017EE01 , 4K017EK01 , 4K018AA08 , 4K018AA10 , 4K018AA24 , 4K018AA40 , 4K018BA04 , 4K018BA16 , 4K018BA20 , 4K018BB04 , 4K018EA11 , 4K018FA01 , 4K018KA29 , 4K029DC04 , 4K029DC09

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