特許
J-GLOBAL ID：200903069921903966
液晶ディスプレイ基板の高速同期撮像検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-278320
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123016
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、高速移動する基板上の欠陥撮像の画像ブレが殆どなく、静止画像に近い鮮明な画像データを得ることができる検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明に係る液晶ディスプレイ基板の高速同期撮像検査装置は、(A)液晶ディスプレイ基板1に投光するストロボ光源7と、(B)透過法、反射法、散乱法等の光学的方法により液晶ディスプレイ基板1の欠陥を検査する撮像装置9と、(C)前記基板1または該撮像装置9のいずれか一方または両方を駆動位置決めする駆動位置決め装置4と、(D)前記ストロボ光源7の点灯と、ストロボ光源点灯時の画像の取り込みと、画像のデータ転送と、ストロボ光源点灯時の該駆動位置決め装置の位置座標データの取り込みと、位置座標データの転送とのタイミングを制御する同期制御装置20を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
(A)液晶ディスプレイ基板(1)に投光するストロボ光源(7)と、(B)透過法、反射法、散乱法等の光学的方法により液晶ディスプレイ基板(1)の欠陥を検査する撮像装置(9)と、(C)前記基板(1)または撮像装置(9)のいずれか一方または両方を駆動位置決めする駆動位置決め装置(4)と、(D)前記ストロボ光源(7)の点灯と、ストロボ光源点灯時の画像の取り込みと、画像のデータ転送と、ストロボ光源点灯時の駆動位置決め装置の位置座標データの取り込みと、位置座標データの転送のタイミングを制御する同期制御装置(20)を設けたことを特徴とする液晶ディスプレイ基板の高速同期撮像検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01M 11/00 T
, G01N 21/88 D
