特許
J-GLOBAL ID：200903069939816416
物体表面の付着物質量の測定方法及び測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-127342
公開番号（公開出願番号）：特開平8-297091
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：
【要約】【目的】 物体表面に付着した物質の付着量を高精度で測定し、付着量の平均値及び分布を正確に求めることが可能な測定方法及び測定装置を提供する。【構成】 次の手段を具備する。レーザー光を被検出物体の表面に向けて集光,照射する手段(2)。被検出物体(6)表面のレーザー光照射位置に付着した被検物質から発生された特定波長の強度を測定する手段(4)。 特定波長光の強度を減衰させて零にするのに要するレーザー光の累積照射量を求める手段(1)。レーザー光の累積照射量に基づいて被検物体の表面上にあって特定波長光を発生した被検物質の量を求める手段(1)。レーザー光照射手段(2)と測定手段(4)を可動させるための手段と、被検出物体を可動させるための手段(5)。被検出物体表面上の複数の位置における被検物質量を表示するとともに、それらの平均値を算出して表示する表示手段(1)。
請求項（抜粋）：
レーザー光を物体の表面に向けて照射し、前記物体の表面に付着した被検出物を過熱蒸発させて当該被検出物に特定の波長を有する励起発光を生じさせる工程と、前記励起発光が減衰して消滅するのに必要な前記レーザー光の照射光量累積値を検出する工程と、予め求められたレーザー光の照射光量累積値と被検出物質量との関係から、前記被検出物質量を求める工程を有し、前記物体の複数点において被検出物質量を求め、各測定点における測定値と、それらの平均値を算出し表示する工程を有する物体表面の付着物質量の測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/63 A
, G01N 21/64 Z
審査官引用 (3件)
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特開平4-121643
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特開平2-031175
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特開昭62-280641
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