特許

J-GLOBAL ID：200903069952444773

III族窒化物ウエハの製造方法

発明者： 上松 康二 ,  石橋 恵二
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-333479
公開番号（公開出願番号）：特開2005-097045
出願日： 2003年09月25日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】 基板部とIII族窒化物ウエハとを均一に分離することができるIII族窒化物ウエハの製造方法を提供する。【解決手段】 基板部10と1以上のIII族窒化物層からなるIII族窒化物ウエハ20との間に導電性III族窒化物層30が形成されている基板部付きウエハ1000を、電解液1中で、導電性III族窒化物層30に電流を流し、この導電性III族窒化物層30を分解することにより、基板部10とIII族窒化物ウエハ20とに分離することを特徴とするIII族窒化物ウエハ20の製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板部と1以上のIII族窒化物層からなるIII族窒化物ウエハとの間に導電性III族窒化物層が形成されている基板部付きウエハを、電解液中で、前記導電性III族窒化物層に電流を流し、前記導電性III族窒化物層を分解することにより、前記基板部と前記III族窒化物ウエハとに分離することを特徴とするIII族窒化物ウエハの製造方法。

IPC (2件)：

C30B29/38 ,  H01L21/306

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  H01L21/306 C

Fターム (14件)：

4G077AA03 ,  4G077BE15 ,  4G077DB05 ,  4G077EF01 ,  4G077FJ03 ,  4G077HA12 ,  4G077TB03 ,  4G077TC12 ,  4G077TC17 ,  4G077TK11 ,  5F043AA05 ,  5F043BB06 ,  5F043DD14 ,  5F043GG10