特許
J-GLOBAL ID:200903069953860525

レーザマーキング装置、その光路遮蔽部材、および光軸検査器具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石川 泰男 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-104221
公開番号(公開出願番号):特開2000-296482
出願日: 1999年04月12日
公開日(公表日): 2000年10月24日
要約:
【要約】【課題】 レーザ光の光路を遮蔽したままで光軸のずれを検査できるレーザマーキング装置を提供する。【解決手段】 レーザ光源から射出されたレーザ光を所定の遮蔽構造12内に収容された光学系を介してマスク上に導き、そのマスクに設けられたパターンを転写対象物に転写するレーザマーキング装置において、レーザ光のビーム形状を写し取るためのスクリーン35を保持可能なホルダ31を、前記遮蔽構造内の定位置に挿入可能とする。例えばミラー18を収容する中空構造のミラーボックス15と、ミラーボックス15に入射するレーザ光の光路を覆うデリバリチューブ16との間にコネクタボックス20を配置し、そのスリット22aを介して光路内にホルダ31を挿入可能とする。
請求項(抜粋):
レーザ光源から射出されたレーザ光を所定の遮蔽構造内に収容された光学系を介してマスク上に導き、そのマスクに設けられたパターンを転写対象物に転写するレーザマーキング装置において、前記レーザ光のビーム形状を写し取るためのスクリーンを保持可能なホルダを、前記遮蔽構造内の定位置に挿入可能としたことを特徴とするレーザマーキング装置。
IPC (2件):
B25H 7/04 ,  B23K 26/00
FI (2件):
B25H 7/04 E ,  B23K 26/00 B
Fターム (6件):
4E068AB00 ,  4E068CA06 ,  4E068CB08 ,  4E068CD08 ,  4E068CE07 ,  4E068DA06
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭55-062319
  • 特開昭57-040618

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