特許
J-GLOBAL ID：200903069957141485
静電容量型圧力センサの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-119366
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307958
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【構成】 ベース10に固着するダイヤフラム12と、固定電極板15とほぼ平行に配置してダイヤフラムに固着する可動電極板14と、可動電極板と電気的に接続し、ベースを貫通して設ける可動電極端子18と、可動電極板と一定間隔を保つために、中央部の径を太くしたスペーサ部17aを持つスペーサピン17を用いてベースに固定する固定電極板15と、固定電極板と電気的に接続して設ける固定電極端子19とを備え、ベースおよび固定電極板とスペーサピンとの固定を、スペーサピンの両先端を熱変形させることにより行う。【効果】 固定電極板をスペーサピン一部品で、ベースに熱カシメの手段によって固定することで、静電容量型圧力センサの部品点数を低減することが可能となる。
請求項（抜粋）：
ベースに固着するダイヤフラムと、固定電極板とほぼ平行に配置してダイヤフラムに固着する可動電極板と、可動電極板と電気的に接続し、ベースを貫通して設ける可動電極端子と、可動電極板と一定間隔を保つために、中央部の径を太くしたスペーサ部を持つスペーサピンを用いてベースに固定する固定電極板と、固定電極板と電気的に接続して設ける固定電極端子とを備え、ベースおよび固定電極板とスペーサピンとの固定を、スペーサピンの両先端を熱変形させることにより行うことを特徴とする静電容量型圧力センサの製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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