特許

J-GLOBAL ID：200903069957581302

多層セラミック基板およびその製造方法

発明者： 須郷 公英
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-333755
公開番号（公開出願番号）：特開2001-156454
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 安定した特性をもって、コンデンサ素子やインダクタ素子を内蔵する多層セラミック基板を製造できるようにする。【解決手段】 第1のセラミック機能材料を含む複数の基体用グリーンシート2aと、第1のセラミック機能材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用セラミック材料を含む収縮抑制用グリーンシート3a,11aとを備え、内部に設けられたキャビティ4内に、第1のセラミック機能材料の焼結温度で焼結するが第1のセラミック機能材料とは異なる誘電体等の第2のセラミック機能材料をもって構成された生の機能素子5aが収納され、かつ生の機能素子5aを挟むように収縮抑制用グリーンシート3a,11aが配置されている、生の複合積層体1aを作製し、これを焼成することによって、多層セラミック基板を得る。

請求項（抜粋）：

第1のセラミック機能材料と、前記第1のセラミック機能材料の焼結温度で焼結するが前記第1のセラミック機能材料とは異なる第2のセラミック機能材料と、前記第1のセラミック機能材料の焼結温度では焼結しない収縮抑制用セラミック材料とをそれぞれ用意する工程と、前記第2のセラミック機能材料をもって構成された、生の機能素子を作製する工程と、前記第1のセラミック機能材料を含む、複数の基体用グリーンシートと、前記基体用グリーンシートの特定のものに接するように配置され、かつ前記収縮抑制用セラミック材料を含む、収縮抑制用グリーンシートとを備えるとともに、少なくとも前記基体用グリーンシートの特定のものには、キャビティが設けられ、前記キャビティ内には、前記生の機能素子が収納され、かつ前記生の機能素子を挟むように前記収縮抑制用グリーンシートが配置されている、生の複合積層体を作製する工程と、前記生の複合積層体を焼成する工程とを備え、前記焼成工程において、前記収縮抑制用グリーンシートによって前記基体用グリーンシートの主面方向での収縮および前記生の機能素子の主面方向での収縮を抑制しながら、前記基体用グリーンシートに含まれる前記第1のセラミック機能材料および前記生の機能素子に含まれる前記第2のセラミック機能材料を焼結させる、多層セラミック基板の製造方法。

IPC (2件)：

H05K 3/46 ,  C04B 35/495

FI (3件)：

H05K 3/46 Q ,  H05K 3/46 H ,  C04B 35/00 J

Fターム (34件)：

4G030AA10 ,  4G030AA25 ,  4G030AA27 ,  4G030AA32 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030BA01 ,  4G030BA02 ,  4G030BA09 ,  4G030CA07 ,  4G030GA23 ,  5E346AA12 ,  5E346AA13 ,  5E346AA15 ,  5E346AA24 ,  5E346AA38 ,  5E346AA60 ,  5E346BB01 ,  5E346CC17 ,  5E346CC21 ,  5E346DD02 ,  5E346DD07 ,  5E346DD13 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346EE29 ,  5E346FF18 ,  5E346FF45 ,  5E346GG03 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH11 ,  5E346HH21