特許

J-GLOBAL ID：200903069957599554

ガス溶解洗浄水の通水配管

発明者： 森田 博志
出願人/特許権者： 栗田工業株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-325627
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150450
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】電子材料などのウェット洗浄工程において、自己分解性ガスを溶解した洗浄水を、主配管から複数のユースポイントを有する枝配管に分岐して長距離移送しても、すべてのユースポイントにガス濃度のほぼ一定した洗浄水を供給することができるガス溶解洗浄水の通水配管を提供する。【解決手段】純水にガスを溶解した洗浄水をガスの共存下に移送する通水配管であって、主配管から枝配管が分岐する分岐部直近の上流側に、インラインミキサーを備えてなることを特徴とするガス溶解洗浄水の通水配管。

請求項（抜粋）：

純水にガスを溶解した洗浄水をガスの共存下に移送する通水配管であって、主配管から枝配管が分岐する分岐部直近の上流側に、インラインミキサーを備えてなることを特徴とするガス溶解洗浄水の通水配管。

IPC (2件)：

H01L 21/304 648 ,  F17D 1/08

FI (2件)：

H01L 21/304 648 K ,  F17D 1/08

Fターム (6件)：

3J071AA11 ,  3J071BB11 ,  3J071CC03 ,  3J071CC11 ,  3J071DD26 ,  3J071FF11