特許
J-GLOBAL ID：200903069976715417
ポジ型フオトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144395
公開番号（公開出願番号）：特開平5-341509
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 寸法安定性にきわめて優れたレジストパターンを形成しうるポジ型フオトレジスト組成物を提供する。【構成】 ポジ型感光性樹脂組成物が、キノンジアジド化合物、アルカリ化溶性ノボラツク樹脂に加え、下記一般式[I]もしくは[II]で表される特定の吸光剤を含有する。【化1】
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂及び1,2-ナフトキノンジアジド基を含む化合物から成るポジ型フオトレジスト組成物において、更に下記一般式〔1〕、〔2〕からなる群から選ばれた少なくとも1種の吸光剤を全固型分の0.1〜10重量%含むことを特徴とするポジ型フオトレジスト組成物。【化1】
IPC (2件)：
引用特許：
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