特許

J-GLOBAL ID：200903069990134931

基板外観検査方法及びその装置、基板外観検査用プログラム、コンピュータにより読み取り可能な記憶媒体

発明者： 永田 渉
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335620
公開番号（公開出願番号）：特開2003-141508
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月16日
要約：

【要約】【課題】複数の検査対象物であるパッドを均等に分割させて検査処理の効率化を図ること。【解決手段】複数のパッド1が配置された被検査基板3を撮像して取得された検査画像データにおけるパッド1の検査領域(数量又は総面積)がそれぞれ均等に分割されるように検査画像データに対する2つの処理領域Q11、Q21を設定し、これら処理領域Q11、Q21ごとにそれぞれマルチプロセッサ22の並列処理により各検査画像処理スレッドを起動して被検査基板3の外観検査を行なう。

請求項（抜粋）：

複数の検査対象物が配置された被検査基板を撮像し、その画像データに基づいて前記被検査基板の外観検査を行なう基板外観検査方法において、前記画像データにおける前記検査対象物の検査領域がそれぞれ均等に分割されるように前記画像データに対する処理領域を複数に分割し、これら処理領域ごとにそれぞれ画像処理して前記被検査基板の外観検査を行なうことを特徴とする基板外観検査方法。

IPC (5件)：

G06T 1/00 305 ,  G01N 21/956 ,  G06T 5/40 ,  H05K 3/00 ,  G01B 11/30

FI (5件)：

G06T 1/00 305 A ,  G01N 21/956 B ,  G06T 5/40 ,  H05K 3/00 Q ,  G01B 11/30 A

Fターム (38件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ43 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051DA05 ,  2G051EA14 ,  2G051EA19 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051ED22 ,  5B057AA03 ,  5B057BA11 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE09 ,  5B057CE12 ,  5B057CH04 ,  5B057DB02 ,  5B057DB08 ,  5B057DC04 ,  5B057DC19