特許
J-GLOBAL ID：200903069991203309
真空乾燥方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-283911
公開番号（公開出願番号）：特開平6-108972
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 真空乾燥時の蒸発潜熱で被乾燥物に付着した水滴が自己凍結するのを極力防止して、十分な乾燥を行う。【構成】 水系洗浄後の被乾燥物1をスピンバスケット2に入れ、同スピンバスケット2を真空チャンバー3内で高速回転させて被乾燥物1の水切りを行った後、前記真空チャンバー3内を真空にして真空乾燥する。さらにこの真空乾燥完了後に真空チャンバー3の真空を開放し、その状態で真空チャンバー3内の被乾燥物1を温風乾燥する。
請求項（抜粋）：
水系洗浄後の被乾燥物1をスピンバスケット2に入れ、同スピンバスケット2を真空チャンバー3内で高速回転させて被乾燥物1の水切りを行った後、前記真空チャンバー3内を真空にして真空乾燥することを特徴とする真空乾燥方法。
IPC (3件)：
F04B 37/16
, F26B 5/04
, H01L 21/304 361
