特許
J-GLOBAL ID:200903069995290184
赤外線ガス分析計用コンデンサマイクロフォン検出器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 英夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-402310
公開番号(公開出願番号):特開2002-202260
出願日: 2000年12月28日
公開日(公表日): 2002年07月19日
要約:
【要約】【課題】 構成が簡単でありながらも、振動に対して強い構造を有するコンデンサマイクロフォン検出器を提供すること。【解決手段】 二つの電極24,25を適宜の間隔をおいて対向させて設けた赤外線ガス分析計用コンデンサマイクロフォン検出器13において、前記両電極24,25をともに金属薄膜22,23で形成するとともに、その形状および質量を同一またはほぼ同一になるように形成した。
請求項(抜粋):
二つの電極を適宜の間隔をおいて対向させて設けた赤外線ガス分析計用コンデンサマイクロフォン検出器において、前記両電極をともに金属薄膜で形成するとともに、その形状および質量を同一またはほぼ同一になるように形成したことを特徴とする赤外線ガス分析計用コンデンサマイクロフォン検出器。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (12件):
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059EE01
, 2G059FF08
, 2G059FF09
, 2G059GG00
, 2G059GG03
, 2G059HH01
, 2G059JJ24
, 2G059KK08
, 2G059NN01
, 2G059NN03
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