特許
J-GLOBAL ID：200903070007999198
微細な特徴を有するワークを検査する為のシステムおよび方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松岡 修平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-549981
公開番号（公開出願番号）：特表2009-523244
出願日： 2006年12月11日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
画像化すべき微細な特徴を有する概して平面的なワークの高解像度処理の為の装置であって、概して平面的なワーク上の微細部分の少なくとも2つの候補画像を取得するビデオカメラと、前記ビデオカメラが選択された時間間隔で前記少なくとも2つの候補画像を取得し、前記少なくとも2つの候補画像のそれぞれは少なくとも一つの画像パラメータが異なるように、前記ワークの面上の位置に概して垂直に伸びる光軸に沿って前記ビデオカメラの少なくとも一つの光学部品の前記ワークを基準とする移動を生じさせるよう動作するモーションコントローラと、予め決まった画像品質の基準にしたがって前記少なくとも2つの候補画像から、選択された微細部分に対応する個別の画像を選択するように動作する画像セレクタと、画像セレクタによって選択された個別の画像の少なくとも一部を分析するよう動作する選択画像アナライザと、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
画像化すべき微細な特徴を有する概して平面的なワークの高解像度処理の為の装置であって、
概して平面的なワーク上の選択された微細部分のそれぞれについて、少なくとも2つの候補画像を取得するビデオカメラと、
前記ビデオカメラが選択された時間間隔で前記少なくとも2つの候補画像を取得し、前記少なくとも2つの候補画像のそれぞれは少なくとも一つの画像パラメータが異なるように、前記ワークの面上の位置に概して垂直に伸びる光軸に沿って前記ビデオカメラの少なくとも一つの光学部品の前記ワークを基準とする移動を生じさせるよう動作するモーションコントローラと、
選択された微細部分のそれぞれについて候補画像の取得を遅らせることを回避するよう、予め決まった画像品質の基準にしたがって、前記少なくとも2つの候補画像から、前記選択された微細部分に対応する個別の画像を選択するように動作する画像セレクタと、
前記画像セレクタによって選択された、選択された微細部分に対応する前記個別の画像を分析するよう動作する選択画像アナライザと、
を備える装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051BA08
, 2G051BB05
, 2G051BB17
, 2G051CA04
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051EA09
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EB09
, 2G051ED11
