ダイシング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-142638
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316176
出願日： 1995年05月17日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】ウエハに形成されたチップを個々に分割する際に、ウエハ内における各チップの向きを判別することができるダイシング装置を提供すること。【構成】ダイシングソー50を回転することにより、ウエハ41に形成されたチップ44を個々に分割するダイシング装置であり、ダイジング装置のダイシングソー50が片刃51である。

請求項（抜粋）：

ダイシングソーを回転することにより、ウエハに形成されたチップを個々に分割するダイシング装置において、ダイシングソーが片刃であることを特徴とするダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 , B24D 5/12 , B28D 5/02

FI (3件)：

H01L 21/78 F , B24D 5/12 Z , B28D 5/02 A

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