特許
J-GLOBAL ID：200903070016850571
検査・試験用プローブ装置とプローブ装置取付構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-186784
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049355
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、プローブ装置のプローブ針密度の向上による装置の小型化への対応にある。【構成】 先端がL字状に屈曲され且つ前記屈曲端(4a)が先細状に尖ったプローブ針(4)と、前記複数本のプローブ針(4)をほぼ同方向に且つ屈曲端尖端(4b)を揃えて保持するプローブ取付ブロック(1)とで構成されたプローブ装置(A)において、屈曲端(4a)の長さ(H)(h)...の異なるプローブ針(4)が互いに隣り合うように順次配列され、屈曲端の長さ(h)が短いプローブ針(42)のプローブ取付ブロック(1)への取付位置が、屈曲端の長さ(H)が長いプローブ針(41)のプローブ取付ブロック(1)への取付位置より下方に位置するようにして前記取付位置が複数層となるように配列した事を特徴とする。
請求項（抜粋）：
先端がL字状に屈曲され且つ前記屈曲端が先細状に尖ったプローブ針と、前記複数本のプローブ針をほぼ同方向に且つ屈曲端尖端を揃えて保持するプローブ取付ブロックとで構成されたプローブ装置において、屈曲端の長さの異なるプローブ針が互いに隣り合うように順次配列され、屈曲端の長さが短いプローブ針のプローブ取付ブロックへの取付位置が、屈曲端の長さが長いプローブ針のプローブ取付ブロックへの取付位置より下方に位置するようにして前記取付位置が複数層となるように配列した事を特徴とする検査・試験用プローブ装置。
IPC (4件)：
G01R 1/06
, G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
