回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-301709
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248875
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】高感度、小型かつコスト効率のよい回転振動ジャイロスコープを提供する。【構成】ロータ(12)は中央装着ポスト(15)にらせん形スプリング(22A,22B)によって固定されてポスト(15)の回りに揺動的回転運動を行う。ポスト(15)はZ軸を規定し、かつロータに隣接する検出容量(30,31,32,33)はXおよびY軸を規定する。ロータ、らせん形スプリングおよびポストは単一の半導体処理工程において多結晶シリコンによって形成される。

請求項（抜粋）：

回転振動ジャイロスコープであって、ベース(20)に固定的に取付けられかつ第1の軸を規定する装着ポスト(15)、前記ポストに垂直な面に配置された質量部材(12)、一端において前記ポスト(15)に取付けられかつ多端において前記質量部材(12)に取付けられ、かつ前記質量部材(12)を前記ポスト(15)の回りに揺動的回転運動のために装着するばね(22A,22B)、前記質量部材(12)に隣接して装着され前記質量部材を前記第1の軸の回りに揺動的回転運動させるための揺動的運動駆動装置(25,26,27)、そして前記質量部材に隣接して配置されかつ互いにかつ前記第1の軸に対して互いに垂直な第2および第3の軸を規定し、前記第2の軸の回りの前記ジャイロスコープの運動に応じて前記第3の軸の回りの前記質量部材(12)の運動を検出するための検出装置(30,31,32,33)、を具備することを特徴とする回転振動ジャイロスコープ。

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭58-221109
特開昭62-093668

審査官引用 (5件)

特開昭58-221109
特開昭58-221109
特開昭62-093668

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