特許

J-GLOBAL ID：200903070021530844

金属膜が形成された金属板の表裏判定方法、及び金属膜が形成された金属板の表裏判定装置

発明者： 飯塚 実
出願人/特許権者： 株式会社大真空
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-240360
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060102
出願日： 2001年08月08日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：

【要約】【課題】 表裏に金属膜の形成された金属板について、低コストで確実に表裏判定の行うことのできる方法及び装置を提供する。【解決手段】 表裏判別のついていない金属膜形成後の金属フタ2について、任意の一面の膜厚を測定する。測定データは膜厚測定部S2から表裏判定部S3に出力され、比較判定が行われる。第2のメモリには予め一方の膜厚データが格納されており、第1のメモリに格納された測定データとの比較が比較部により実行される。比較結果は判定部に出力され。判定部により表裏判定が行われる。

請求項（抜粋）：

表裏に厚さの異なる非磁性金属膜を形成した磁性金属板の表裏を判別する方法であって、電磁式膜厚計の測定プローブを前記非磁性金属膜のいずれかの面に近接または当接させることにより変化した電気変化量を検出し、検出された電気変化量と予め定められた膜厚に関連する電気変化量とを比較して表裏を判別することを特徴とする、金属膜が形成された金属板の表裏判別方法。

IPC (2件)：

H01L 23/02 ,  G01B 7/06

FI (3件)：

H01L 23/02 J ,  H01L 23/02 C ,  G01B 7/10

Fターム (9件)：

2F063AA16 ,  2F063BA30 ,  2F063BB03 ,  2F063BB05 ,  2F063DA02 ,  2F063DA21 ,  2F063DC08 ,  2F063GA01 ,  2F063KA01