特許

J-GLOBAL ID：200903070024728262

液晶表示装置用アレイ基板の製造方法

発明者： 二ノ宮 利博
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-186193
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050301
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】 スパッタリング装置で初期の絶縁基板に成膜する膜のシート抵抗値を、初期以降の絶縁基板に成膜する膜のシート抵抗値とほぼ同じ値にする。【構成】 アドレス配線、データ配線、データ電極9、画素電極7、薄膜トランジスタ11の膜が絶縁基板1上に形成される液晶表示装置用アレイ基板である。スパッタリング装置により膜を絶縁基板1上に成膜する際、このスパッタリング装置に加える電力を初期とその初期以降との2段階に変化させる。【効果】 成膜時の初期には、絶縁基板1に成膜する膜のシート抵抗値が所定値となり得るのに適した電力をスパッタリング装置に加えられる。同様に、初期以降には、初期以降の絶縁基板に成膜する膜のシート抵抗値が所定値となり得るのに適した電力をスパッタリング装置に加えられる。

請求項（抜粋）：

アドレス配線、このアドレス配線に交差して配置されるデータ配線、画素電極および薄膜トランジスタの膜が絶縁基板上に形成される液晶表示装置用アレイ基板の製造方法であって、スパッタリング装置により前記膜を絶縁基板上に成膜する際、このスパッタリング装置に加える電力を初期とその初期以降との2段階に変化させることを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板の製造方法。