容量式変位センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179260
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004431
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】容量センサの温度特性や部品の経時変化などのドリフトに影響を受けない信頼性の高い容量式変位センサを提供する。【解決手段】変位計測対象面2と容量電極4との距離の変化を静電容量の変化として検出してLC発振器5の発振周波数を可変せしめる容量センサ3と、容量センサ3の発振周波数と所定の関係を有する参照周波数を発振する参照周波数発振器7と、容量センサ3の発振周波数と参照周波数発振器7の参照周波数との差のビート周波数を発生せしめる検波回路8と、このビート周波数出力を電圧に変換するF-V変換器9とからなる容量式変位センサにおいて、容量センサを変位計測対象面2に対して一定の振幅でかつ低周期で微小振動せしめる微小振動発生器13と、F-V変換器から出力される微小振動に基づく静電容量の変化による低周波の振幅を電圧に変換して検出する低周波交流増幅器14とを備えている。

請求項（抜粋）：

変位計測対象面と容量電極との距離の変化を静電容量の変化として検出して、LC発振器の発振周波数を可変せしめる容量センサと、該容量センサの発振周波数と所定の関係を有する参照周波数を発振する参照周波数発振器と、前記容量センサの発振周波数と前記参照周波数発振器の参照周波数との差のビート周波数を発生せしめる検波回路と、該検波回路のビート周波数出力を電圧に変換するF-V変換器とから構成された容量式変位センサにおいて、前記容量センサを前記変位測定対象面に対して一定の振幅でかつ低周期で微小振動せしめる微小振動発生器と、前記F-V変換器から出力される前記ビート周波数に重畳された前記微小振動に基づく静電容量の変化による低周波の振幅を電圧に変換して検出する低周波交流増幅器とを備え、前記変位測定対象面の変位に基づく静電容量の変化を前記微小振動に基づく低周波の振幅の変化として検出し、該振幅を電圧値に変換すると共に、変換された該電圧値から変位量を求めるようにしたことを特徴とする容量式変位センサ。

IPC (3件)：

G01F 23/26 , G01B 7/00 , G01D 5/24

FI (3件)：

G01F 23/26 A , G01B 7/00 K , G01D 5/24 R

Fターム (12件)：

2F014EA05 , 2F063AA02 , 2F063CA07 , 2F063CB07 , 2F063DA01 , 2F063DA05 , 2F063HA01 , 2F063HA04 , 2F063LA11 , 2F077AA16 , 2F077HH15 , 2F077TT22

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